വാതക വിവരണം
ടെട്രാഫ്ലൂറോ കാർബൺ, ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥെയ്ൻ എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു. നിറമില്ലാത്തതും മണമില്ലാത്തതും മണമില്ലാത്തതുമായ വാതകം. വെള്ളത്തിൽ ലയിക്കാത്തത്, സാധാരണ മർദ്ദത്തിൽ 25 ഡിഗ്രിയിൽ 0.0015, ക്ലോറോഫോമിലും ബെൻസീനിലും ലയിക്കുന്നു. ഈ ഉൽപ്പന്നം വിഷരഹിതവും തീപിടിക്കാത്തതുമാണ്. ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയിൽ, ഇതിന് അനസ്തെറ്റിക് ഫലമുണ്ട്. ഇതിൻ്റെ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകവും ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഓക്സിജനുമായുള്ള മിശ്രിതവുമാണ് നിലവിൽ മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക് വ്യവസായത്തിൽ ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് വാതകം. കെമിക്കൽബുക്ക് കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള റഫ്രിജറൻ്റും ഇൻസുലേഷൻ മാധ്യമമായും ഉപയോഗിക്കാം. നല്ല കെമിക്കൽ, താപ സ്ഥിരത, പല റിയാക്ടറുകളിലേക്കും നിർജ്ജീവമാണ്, 1000 ℃-ൽ ഹൈഡ്രോലൈസ് ചെയ്തിട്ടില്ല. ഊഷ്മാവിൽ ചെമ്പ്, നിക്കൽ, ടങ്സ്റ്റൺ എന്നിവയുമായി ഇത് പ്രതികരിക്കുന്നില്ല. CF ബോണ്ടിൻ്റെ ശക്തമായ രാസ സ്ഥിരത കാരണം, CF4 പ്രതിനിധീകരിക്കുന്ന പെർഫ്ലൂറോകാർബണുകൾ പ്രധാനമായും വിഷരഹിതമായി കണക്കാക്കാം.
പ്രധാന ഉപയോഗങ്ങൾ
മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക് വ്യവസായത്തിൽ നിലവിൽ ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് വാതകമാണ് കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ്. സിലിക്കൺ, സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ്, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ്, ഫോസ്ഫോറോസിലിക്കേറ്റ് ഗ്ലാസ്, ടങ്സ്റ്റൺ തുടങ്ങിയ നേർത്ത ഫിലിം മെറ്റീരിയലുകൾ കൊത്തിവയ്ക്കാൻ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉപരിതല ശുചീകരണം, സോളാർ സെല്ലുകളുടെ ഉത്പാദനം, ലേസർ സാങ്കേതികവിദ്യ, താഴ്ന്ന താപനിലയുള്ള ശീതീകരണം, ഗ്യാസ് ഇൻസുലേഷൻ, ലീക്ക് ഡിറ്റക്ഷൻ ഏജൻ്റ്സ്, ബഹിരാകാശ റോക്കറ്റുകളുടെ മനോഭാവ നിയന്ത്രണം, ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റുകൾ, ലൂബ്രിക്കൻ്റുകൾ, പ്രിൻ്റഡ് സർക്യൂട്ട് നിർമ്മാണത്തിൽ ബ്രേക്ക് ദ്രാവകങ്ങൾ എന്നിവയിലും ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. . ശക്തമായ രാസ സ്ഥിരത കാരണം, ലോഹ ഉരുകൽ, പ്ലാസ്റ്റിക് തുടങ്ങിയ വ്യവസായങ്ങളിലും CF4 ഉപയോഗിക്കാം.
സംഭരണവും മുൻകരുതലുകളും
തണുത്തതും വായുസഞ്ചാരമുള്ളതുമായ ജ്വലനരഹിത വാതക സമർപ്പിത വെയർഹൗസിൽ സംഭരിക്കുക. തീപ്പൊരികളിൽ നിന്നും താപ സ്രോതസ്സുകളിൽ നിന്നും അകന്നു നിൽക്കുക. സംഭരണ താപനില 30 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിൽ കൂടരുത്. കത്തുന്ന വസ്തുക്കളിൽ നിന്നും ഓക്സിഡൻറുകളിൽ നിന്നും ഇത് പ്രത്യേകം സൂക്ഷിക്കണം, മിശ്രിത സംഭരണം ഒഴിവാക്കണം. സ്റ്റോറേജ് ഏരിയയിൽ ചോർച്ചയ്ക്കുള്ള അടിയന്തര പ്രതികരണ ഉപകരണങ്ങൾ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കണം.
